■學歷： 1981 大阪大學 工學博士
■經歷： 2004 - 兵庫縣立大學 高度産業科學技術研究所 教授 1998~2003 - 姬路工業大學 高度産業科學技術研究所 教授 1997 - 加入半導體先端技術基礎技術研究部，擔任先進電子束光刻設備開發負責人 1981 - 加入日本電気（株），在基礎研究所利用電子束和離子束進行奈米技術研究
遠藤政孝推薦
