■學歷:
大阪大學 工學博士
■經歷:
大阪大學 産業科學研究所 客座教授
2009 - 於大阪大學科學研究所從事光阻材料及EUV光阻的研發工作
1983 - 加入松下電器工業株式會社,從事半導體光刻製程、抗蝕劑和微細加工用材料的開發
■學歷:
大阪大學 工學博士
■經歷:
大阪大學 産業科學研究所 客座教授
2009 - 於大阪大學科學研究所從事光阻材料及EUV光阻的研發工作
1983 - 加入松下電器工業株式會社,從事半導體光刻製程、抗蝕劑和微細加工用材料的開發
專長:半導體製造技術、量子化學、高分子化學