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堀邊 英夫 - 專家講師

堀邊 英夫

堀邊 英夫
專家講師

堀邊 英夫

日本 No. 24S00024 1 個授課主題
專長領域 抗蝕劑、⾼分⼦物性

講師介紹

■學歷
1997 大阪大學 工學博士

■經歷
2013 - 大阪大學 化學與生物工程系 教授
2007 - 金澤工業大學 生物科學與化學學院 教授
2003 - ⾼知⼯業⾼等専⾨學校物質⼯學科 助理教授
1985 - 三菱電機(株)先端技術綜合研究所 研究員/主任研究員/主席研究員

研究專長

大阪公立大学
学長特別補佐
大学院工学研究科 物質化学生命系専攻 化学バイオ工学分野
高分子化学研究グループ 教授
堀邊 英夫
https://www.omu.ac.jp/eng/polymer2021_lab/

授課主題

  • 半導体用レジストの基礎と材料設計 および環境配慮型の新規レジスト除去技術 三建,SUMKEN,光阻技術,Novolak正型光阻劑,光阻劑顯影分析儀,化學增幅正型光阻劑,樹脂,溶解抑制劑,酸發生劑,i線厚膜光阻劑,光阻劑去除,臭氧,氫自由基,微奈米氣泡,ozone,micro bubble,EUV,極紫外線,曝光,環保