授課主題

• 半導体製造に向けた高純度ガスの精製技術 半導體高純度氣體技術,高純度氣體精製,半導體用高純度氣體,無機氣體分離技術,無機氣體精製技術,氣體分離與精製,高純度氣體回收技術,半導體氣體精製裝置,半導體製程用氣體,超高純度氣體,ppb等級高純度氣體,99.9999999%高純度氣體,特殊吸附劑,金屬觸媒,高速流體模擬,吸附劑氣體精製,氣體精製用吸附劑,金屬觸媒氣體精製,MOF氣體分離,金屬有機骨架MOF,氣體錯合物研究,TSA氣體分離,PSA