(国研)産業技術総合研究所 ハイブリッド機能集積研究部門 3D集積システムグループ
研究グループ長 博士(工学) 菊地 克弥 氏
【専門】
電子工学、超伝導工学
【略歴】
2001年埼玉大学大学院博士後期課程情報数理科学専攻修了。博士(工学)。
同年、産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門高密度SIグループ勤務。
以降、半導体LSI集積化技術における3次元集積実装技術をはじめとする次世代の電子回路集積実装技術、超高速・高周波回路実装技術、およびその計測・評価技術の研究開発等に従事。
2015年同ナノエレクトロニクス研究部門3D集積システムグループ、研究グループ長。
2020年同デバイス技術研究部門3D集積システムグループ、研究グループ長。
現在は、半導体LSI集積化技術における3次元集積実装技術に加え、超伝導量子デバイスの3次元集積実装技術の研究開発に従事。