授課主題

• SiCウェハの欠陥評価技術 SiC晶圓缺陷, SiC晶體缺陷種類, SiC缺陷評價, SiC溶液成長, SiC質子注入, SiC功率元件缺陷, SiC晶圓品質, SiC穿通位錯, SiC基底面位錯, SiC堆疊缺陷, SiC微管缺陷, SiC晶體位錯密度, SiC缺陷控制技術, SiC晶圓檢測, SiC缺陷X-ray拓撲, SiC PL評價, SiC偏光顯微鏡, SiC晶圓AI檢測, SiC厚膜成長, SiC大口徑晶圓, S