授課主題

• フィラー分散高分子の温度－電気特性 導電高分子材料, PTC特性聚合物, 導電填料分散高分子, 金屬粒子填充聚合物, 碳黑填充導電複合材料, 碳納米管導電高分子, 結晶性聚合物導電材料, 非晶性聚合物電阻材料, 室溫低電阻高分子, 高溫高電阻導電材料, 永久保險絲材料, 過電流保護高分子元件, 聚合物複合材料電氣特性, 聚合物結晶度影響電阻, 溫度敏感電阻材料, 導電Ni填料複合材料, CB填料PTC特性研究, PMMA基複合材料導
• オゾン、水素ラジカル、バブルなどにより発生した活性種と有機物との化学反応性 　　（環境に優しいレジスト除去） 環保光阻去除, 氫自由基光阻剝離, 濕潤臭氧光阻去除, 氧化性光阻分解, 光阻除去技術, 半導體製程環保, 微泡水光阻去除, 半導體光阻剝離, LCD光阻去除, 半導體環境友善製程
• 新規リソグラフィー技術の開発 半導體光阻,微影技術,光刻材料,光刻製程,感光性光阻,i線光阻,EUV光阻,正性光阻,負性光阻,化學放大光阻,光阻分子設計,光阻現像特性,光阻厚膜,光阻曝光,光阻前烘,光阻後烘,光阻蝕刻,LCD製程,半導體製造,微影製程,光阻特性評估,光阻材料設計,光阻分子量,光阻溶解抑制劑,光阻酸發生劑,光阻現像溫度,光阻曝光劑量,光阻微結構,高解析度光阻,半導體前端製程,光阻剝離,光阻清洗,光阻性能測試,光阻