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【日本專家】玻璃基板直接銅電鍍與無膠接著技術(等離子體表面改質) | 主題資料庫 | 三建產業資訊

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【日本專家】玻璃基板直接銅電鍍與無膠接著技術(等離子體表面改質)

3 小時 26T00203
次世代半導體封裝 玻璃基板銅電鍍 無膠接著技術 等離子體表面改質 低介電樹脂直接電鍍 高密度封裝基板 玻璃基板直接接著 高附著力銅電鍍 封裝基板可靠性提升 多層積層基板技術 孔內銅電鍍 緩衝層技術 高耐熱封裝樹脂 異材質接著強化 半導體製程技術 B5G/6G封裝材料

大綱內容

高密度封裝技術逐漸受到關注,以提升半導體的處理速度。作為基材,玻璃具有潛力,但針對玻璃的銅電鍍,目前雖已探討過多種方法(如使用底漆等),仍無法建立包含可靠性在內的標準工程。
主講人先前在B5G低介電樹脂基板上開發並取得專利的表面改質技術(在基材表面形成與基材強固結合的官能基 -NH 基),成功應用於難以接著的玻璃材料,實現了玻璃的高附著力銅電鍍以及樹脂的直接接著技術。本講座將從表面改質的原理與可靠性出發,說明實務操作中可即時應用的技術,包括孔內電鍍、積層基板製作等。
針對玻璃基板,直接銅電鍍的實用化目前受到阻礙,主要是由於銅與玻璃基板間熱膨脹係數差異造成的可靠性降低。本講座亦將介紹引入無機物作為緩衝層的新技術,以提升可靠性。

■大綱目次
1、前言

2、技術課題

3、使用等離子體表面改質的接著原理與狀態評估

4、表面改質應用於直接電鍍與直接接著的技術原理

5、表面改質應用於直接電鍍
 (1) 低介電樹脂的直接銅電鍍
 (2) 玻璃的直接銅電鍍
 (3) 透過緩衝層實現玻璃的高可靠性銅電鍍技術
 (4) 孔、通孔的高附著力直接銅電鍍

6、表面改質應用於無膠直接接著技術
 (1) 低介電樹脂與金屬(Cu)及低介電樹脂間的直接接著
 (2) 玻璃與樹脂的直接接著
 (3) 直接接著的應用技術

7、封裝基板製作的應用技術
 (1) 接著劑接著強度改善(Cu/環氧樹脂系接著劑)
 (2) 異材質密著性提升(如金屬、陶瓷與矽膠接著劑)
 (3) 高耐熱封裝樹脂的密著性改善

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