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【大陽日酸】半導體製造的高純度氣體精製技術 | 主題資料庫 | 三建產業資訊

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【大陽日酸】半導體製造的高純度氣體精製技術

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半導體高純度氣體技術 高純度氣體精製 半導體用高純度氣體 無機氣體分離技術 無機氣體精製技術 氣體分離與精製 高純度氣體回收技術 半導體氣體精製裝置 半導體製程用氣體 超高純度氣體 ppb等級高純度氣體 99.9999999%高純度氣體 特殊吸附劑 金屬觸媒 高速流體模擬 吸附劑氣體精製 氣體精製用吸附劑 金屬觸媒氣體精製 MOF氣體分離 金屬有機骨架MOF 氣體錯合物研究 TSA氣體分離 PSA

大綱內容

一、前言介紹

二、精製設備
2-1 高純度惰性氣體精製設備
2-2 高純度惰性氣體精製設備(CH₄ 去除型)
2-3 高純度氧氣精製設備
2-4 高純度氫氣精製設備
2-5 高純度氫氣精製設備(Getter 式)
2-6 高純度氫氣精製設備(低溫式)
2-7 高純度稀有氣體精製設備(Getter 式)
2-8 高純度氨氣精製設備
2-9 高純度 CO₂ 精製設備
2-10 高純度空氣(Air)精製設備
2-11 Line Purifier(管線型精製設備)

三、高純度氣體精製設備的機型更新
3-1 Puremate-1000 系列
3-2 Puremate-1400 系列
3-3 總結

四、高純度精製技術的研發
4-1 新型吸附劑的開發
4-2 高流速精製技術的開發
4-3 總結

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