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驅動先進封裝的下一個十年:從厚膜光阻劑到CoWoS RDL製程 | 主題資料庫 | 三建產業資訊

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IC製造

驅動先進封裝的下一個十年:從厚膜光阻劑到CoWoS RDL製程

6 小時 25T00141
厚膜光阻 Thick Photoresist 再配線層 Re-Distribution Layer RDL 先進封裝 光阻製程 Photoresist Process 矽中介層 Silicon Interposer 矽橋技術 Silicon Bridge 有機中介層 Organic Interposer

大綱內容

  隨著生成式AI的快速發展,龐大的數據處理需求被集中於資料中心與基地台。為了以超高速、低功耗與低損失進行這些處理,對半導體晶片的性能提出了更高要求。因此,除了傳統的微縮技術(前段製程),堆疊化的發展方向(先進封裝;後段製程)也逐漸受到關注。
  本次講演將首先說明先進半導體封裝技術的基礎。在此部分,將解說作為核心技術的2.5D封裝技術(如CoWoS)的特點與挑戰。接著,說明厚膜光阻材料的特性,並介紹未來晶片間連接所需的重新配線層(RDL;Re-Distribution Layer)形成製程的現狀、需求與課題,最後展望其未來發展方向。

一、先進半導體封裝技術的基礎、課題與未來展望
1-1 Flip-Chip BGA(FC-BGA)
1-2 Fan-Out Wafer-Level Package(FOWLP)
.Integrated Fan-Out(InFO)
1-3 2.5D 封裝技術
.矽中介層型(Silicon Interposer)(如:CoWoS-S、I-CubeS)
.有機中介層型(Organic Interposer)(如:CoWoS-R、R-Cube)
.矽橋接型(Silicon Bridge)(如:CoWoS-L、EMIB、I-CubeE)
1-4 3D IC(立體積體電路)

二、厚膜光阻的特性
2-1 厚膜光阻的應用領域
2-2 厚膜光阻的性能與課題
2-3 厚膜光阻的材料組成

三、RDL(再配線層)形成製程的現狀、需求與課題,以及未來展望
3-1 技術發展藍圖(Roadmap)
3-2 SAP方式(Semi-Additive Process)
3-3 Damascene CMP方式(鑲嵌化學機械研磨)
.Damascene CMP用圖案形成方法
.有機介電材料的應用與挑戰

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