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【日本專家】異質整合3D-IC製程與封裝開發動向 | 主題資料庫 | 三建產業資訊

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IC封測

【日本專家】異質整合3D-IC製程與封裝開發動向

(包班)8~12 小時 25T00102
三建 SumKen 異質整合 heterogeneous 中段製程 RDL微細化 TSMC RDL 微細化 FOWLP micro bump Fan-Out TGV Glass interposer Glass substrate Glass 玻璃 plp 5G 6G B5G AI 人工智慧 CMOS chiplet CPO Hybrid Bonding Chip on Chip 成本

大綱內容

~半導體前段與後段技術層級的橫跨視角之重要性~
~異種元件積體化製程開發~
~3D積體化的主要製程~
在全球最大的晶圓代工廠中,2nm開發已經全面啟動,CMOS元件的縮放技術面臨著1nm及其以後的課題,這些課題正在尋求解決方案。隨著未來AI性能提升與Beyond 5G以後的下一代通信普及化,高速感測網路、大容量高速數據儲存、高性能AI邊緣計算…等通訊基礎設施將依賴於半導體元件,這些元件必須互相結合封裝的功能擴展開發。已有的主要處理器製造商,通過積體化按功能類別劃分的小晶片和記憶體,實現所需求的元件功能,這就是所謂的”chiplet”結構封裝,它已成為新產品創造的核心,並創造了先進微細化製程無法實現的附加價值。
基於半導體封裝的角色正發生重大變化,本課題探討半導體元件積體化技術,包括微凸塊(micro bump)、RDL微細化、Fan-Out製程,並討論3D Fan-out及PLP製程的挑戰。希望這次能成為各位參與者在各自領域內,離開傳統封裝技術延續路線,實踐新價值創造的努力,並討論未來發展方向的契機。

一、最近的半導體元件封裝動向
二、後端工程的高品質化與中間領域過程的進展
2-1 對半導體元件性能提升的貢獻
2-2 對系統層級性能提升的貢獻
2-3 Glass Substrate (Interposer) 和 Co-Packaged Optics的動向

三、三次元積體化製程
3-1 向BSPDN擴展的TSV
3-2 從CIS到NAND記憶體市場滲透的Wafer Level Hybrid Bonding
3-3 從Logic-on-Memory晶片積層出發的要素
.RDL形成
.Micro-bumping
.Chip-on-Chip
3-4 從Si interposer導入到2.5D HBM整合、RDL interposer
3-5 從Si bridge導入到Chiplet積體化
3-6 透過Chip-on-Wafer Hybrid bonding實現3.5D積體化及挑戰
3-7 從SAP到Damascene發展的微細RDL多層化

四、Fan-Out (FO) 型封裝
4-1 FOWLP市場滲透20年
4-2 擴展的過程選擇
4-3 3D FO積體化的成本降低
4-4 面向封裝FO化發展的功率元件
4-5 Panel Level Process (PLP) 高品質化的挑戰

五、市場概況與未來開發動向

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